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電子束曝光系統(tǒng)
021-64283335
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電子束曝光系統(tǒng):微觀世界的精密畫師
電鏡原位偏壓加熱系統(tǒng)概覽
晶圓探針式輪廓儀作為半導(dǎo)體工業(yè)中重要的測(cè)試和測(cè)量工具
ELS-F125是Elionix推出的世界上1st臺(tái)加速電壓達(dá)125KV的電子束曝光系統(tǒng),其可加工線寬下限為5nm的精細(xì)圖形。(以下參數(shù)基于ELS-F125)
服務(wù)熱線:13501903943